DISPOSITIF DE NANOPOSITIONNEMENT ATOMIQUE

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  • National Research Council Canada
  • Université de l'Alberta

Résumé

L'invention concerne un système de nanopositionnement pour nanopositionnement fin et grossier comprenant au moins un actionneur, ledit au moins un actionneur comprenant un matériau à température de Curie élevée, et le système de nanopositionnement étant configuré pour appliquer une tension audit au moins un actionneur afin de générer un mouvement fin et/ou grossier par ledit au moins un actionneur. Le système de nanopositionnement constituant un système autonome, un microscope à sonde locale ou une fixation à un microscope existant sont configurés pour mettre en œuvre un procédé de nanopositionnement sans fluage qui comprend le positionnement d'une sonde par rapport à une première zone d'un substrat à l'aide d'un pas grossier et l'interaction avec la première zone du substrat à l'aide d'un mouvement fin après moins de 60 secondes de positionnement de la sonde. Le mouvement du microscope à sonde locale est actionné par un matériau piézoélectrique à température de Curie élevée qui limite et/ou élimine le fluage, l'hystérésis et le vieillissement.